前几年,大家也许都没听说过“光刻机”,而现在,每当我们提到光刻机,大家已都不陌生,这是什么东西呢?光刻机,这是用于制造芯片的重要设备之一,由于其制造难度非常高,研发设计非常困难,并且对精度要求非常苛刻,所以光刻机长期以来在芯片制造领域扮演着极其重要的角色。而在光刻机领域,荷兰ASML则是该领域的“领头羊”,尤其是在极紫外光刻机领域,ASML更是占据着绝对垄断的地位。
也正是因为缺少极紫外光刻机,大陆没有任何一家企业能生产出7nm、5nm工艺的芯片,虽然中芯国际早期向ASML订购了一台,但由于美国的限制,ASML至今都没能交付,外加上对中兴、华为的芯片禁令,彻底唤醒了我国科技企业自主研发的意识,国内芯片厂商也将希望寄托在了中国企业身上。
为解决光刻机被西方卡脖子的问题,尝到剔骨之痛的华为第一时间宣布全面扎根半导体,解决芯片制造的难题,此外,中科院也宣布入局光刻机,将美国卡脖子的清单变成中科院的科研清单,集全院力量解决光刻机的难题。
好消息一个接一个
其一、为加速国产光刻机的研发进程,华为旗下哈勃投资了北京科益虹源光电技术公司,顺利成为这家企业的第七大股东。据悉,该企业的主营业务是光源系统,这是制造光刻机的核心技术之一,这家企业也是全球第三家193nm ArF准备分子激光器企业,该光源系统可用在DUV光刻机上,这是华为自研光刻机迈出的重要一步。
其二、根据媒体透露,国产光刻机巨头上海微电子表示,全新一代的光刻机预计在今年年底或明年年初实现量产,其光源系统采用了和ASML DUV光刻机相同的光源技术,光源波长均突破193nm,该光源系统就是来源于科益虹源。并且光刻机精度为28nm,这种光刻机不仅可以量产28nm、14nm工艺的芯片,同时还能实现7nm工艺芯片的量产,麒麟980就是采用了7nm非EUV工艺。
也就是说,国产代工企业年底或明年极有可能实现7nm工艺的代工水平,同时也不需要向ASML购买DUV光刻机了。
ASML,受得了吗?
自美国开始限制ASML的出货自由后,ASML就多次表态要向我国厂商出售光刻机,同时为我国提供良好的售后服务。于ASML,北大教授也发出了警告,如果ASML不把光刻机卖给中国,3年后中国就会掌握这项技术,并且根据以往的经验,只要中国掌握这项技术,其生产成本比任何国家都便宜,那时候ASML可能就要退出光刻机市场了。国产光刻机好消息一个接一个,作为光刻机巨头的ASML,不知道还受得了吗?
中国芯片迎来春天
由于摩尔定律的缘故,芯片所容纳的晶体管数量每隔一定的时间就会增加一倍,2018年台积电实现了7nm工艺的量产,2020年台积电实现了5nm工艺的量产,按照中国科技的发展速度,如果2021年底上海微电子新一代光刻机落地,2023年左右我国将会实现5nm工艺芯片的量产。